1.主机特点
1.1. 主机部分包括三坐标测量机主机、机器支撑、进口精密空气过滤器、原装进口长度测量系统。
1.2. 龙门移动式结构,整体式工作台,使其具有承载能力强、工件放置空间宽阔、装卸便捷的特点;
1.3. 三轴导轨均采用优质花岗岩材料,使三轴具有相同的温度特性,因而具有良好的温度稳定性、抗时效变形能力,刚性好、几何变形*小;
1.4. 非线性弹簧系统的应用,降低了导轨微小误差对测量精度的影响,同时保证设备具有更高的环境温度适应性、确保机器具有良好的精度稳定性。
1.5. 横梁采用独特的导轨结构,三角形是同样面积中截面周长*大的形状。三角形的导轨保证了在*小惯量的条件下取得*大的导向空气轴承跨距,大幅提高了导轨的防转精度。
1.6. Z轴扭转是决定测量机精度的重要环节,可靠的防转结构设计即使在使用测头加长杆时也能获得很高的精度。
1.7. 传动系统的振动隔离设计,使得机器高速运动时也能把机械振动对测量精度的影响降到*小。
1.8. 三轴采用高性能同步带传动,不但可以获得很高的运动速度以提高测量效率,还可以*大限度的降低传动惯量以提高运动加速度;
1.9. Z轴采用可调节的气动平衡装置,配置不同的测头系统时可以方便的调节平衡力,使Z轴运动达到*佳状态;
1.10. 长度测量系统采用国外进口高精度反射式金属带状光栅尺和读数头,具有极高的精度和精度稳定性;
1.11. 主机上配置的进口高精度空气过滤器可以使压缩空气达到极高的洁净度以有效地保护空气轴承和导轨,同时自动排水装置使得操作者使用时更加省心省力,避免了因忘记排水导致的设备损坏。
1.12. 完善的安全保护装置,能在一些意外发生时及时锁死三轴,避免更大的意外发生,保护机器的安全。
1.13. 整机设计符合人机工程学原理,使用简单方便,易于保养及维护。
2.仪器规格参数
操作方式 手动
示值误差: ( L:为测量长度(mm)
单轴MPEE1=(3.0+L/250)μm
空间MPEE =(3.5+L/250)μm
数显分辨率:三轴均为0.5μm
花岗石平台: 000级花岗石
3.仪器环境要求
3.1温度(工作条件)
工作温度: 20±2℃
温度变化: <0.5℃/h
工件恒温时间: 4 hours
3.2湿度 55%-65%
3.3.清洁度
因测量机对静电和灰尘的影响特别敏感,故地面和墙面的设计应充分考虑防尘,抗静电。
3.4.振动要求
振动频率≦10Hz 振幅≦0.5μm
10Hz<振动频率≦30Hz 振幅≦1μm
振动频率﹥30Hz 振幅≦3μm
3.5气源
a 供气流量不小于120L/min(0.4 Mpa).
b供气压力应大于0.5MPa.
4.位置检测系统
本机采用英国RENISHAW反射光栅测量系统;分辨率0.5μm;精度高;
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